固態功率源將會是微波發生器一個新的發展趨勢
隨著科技的飛速發展，等離子體技術也日趨成熟，其發明和成果也廣泛應用于工業生產和日常生活中。而其中的微波等離子體技術以其電子溫度高、電子密度高、電離度高、工作氣壓范圍寬、無電極污染而受到業界的認可和青睞。
等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場合下產生的獨特現象和物質。典型的等離子的組成是電子、離子、自由基和質子。就好象把固體轉變成氣體需要能量一樣，產生離子體也需要能量。而微波等離子體設備產生能量的主要來源便是微波發生器。微波發生器是為微波等離子體裝置提供能量的單位，它可把電能變換為額定頻率（915MHz和2.4GHz）的微波能量，并實現對微波功率的調控。
微波發生器作為微波等離子體設備的核心功能單元，它輸出功率的穩定性和可靠性嚴重影響著微波等離子體技術的發展。
作為提供能量的部分，微波發生器需要維持等離子體設備進行長時間連續平穩運行，如微波等離子表面處理、制備大面積金剛石薄膜等。同時微波發生器的功率大小以及平穩性的高低直接決定了等離子體的多個性能，并間接影響目標物的性能及參數。
例如在進行等離子刻蝕時，若微波發生器輸出功率的紋波系數過高，則會導致出現刻蝕缺陷，影響成品率；而利用MPCVD技術沉積金剛石薄膜的實驗時，若在制備過程中微波能量輸出功率過低的情況下，將會產生金剛石薄膜品質降低，以及制備速度降低的現象，若微波發生器在高功率工作狀態下輸出功率不穩定的情況下，將會使金剛石薄膜受力不均，致使外側產生不完整的現象。
